一、ICP-MS
第一步：打开主机左侧电源开关至“ON”状态，检查真空泵泵油液面位置是否在正常范围内；对比泵油颜色与比色卡，确定是否需要更换泵油，如需更换泵油，请及时更换，打开机械泵油污排风；
第二步：打开电脑及控制软件，通过软件-“仪器”-“真空泵”打开真空系统，机械泵与分子涡轮泵陆续启动，等待仪器高真空状态下保持稳定，PG真空显示值应稳定在220左右；
第三步：检查排风口、ICP离子源部分是否异常，如有异常，联系工程师咨询；
第四步：检查冷却循环水水位及水质，如水位过低，请补水至适当液面，如水中有浑浊或絮状物产生，及时更换冷却循环水；
第五步：检查蠕动泵甭管是否有老化，并根据情况及时更换状况良好的甭管；
第六步：检查废液桶液面，及时处理废液，并向校平器加水保持液封；
第七步：打开氦气、氩气供应，并确认气体余量，并打开排风、冷却循环水、自动进样器电源，正常点火分析。
二、ICP-OES
第一步：打开主机左侧电源开关至“ON”状态，检查真空泵泵油液面位置是否在正常范围内并根据使用情况决定是否需要更换泵油，如需更换泵油，请及时更换，打开机械泵油污排风；
第二步：打开电脑及控制软件，通过软件-“仪器”-“真空泵”打开真空系统，机械泵启动，等待一段时间后仪器真空平稳，真空度显示值应稳定在20Pa以下，如真空度不能达到合理范围，更换分子筛后再次尝试；
第三步：检查排风口、ICP部分是否异常，如有异常，联系工程师咨询；
第四步：检查冷却循环水水位及水质，如水位过低，请补水至适当液面，如水中有浑浊或絮状物产生，及时更换冷却循环水；
第五步：检查废液桶液面，及时处理废液，并向校平器加水保持液封；
第六步：待光室温度稳定在38℃以后(稳定需要6个小时)，打开氩气供应，并确认气体余量，并打开排风、冷却循环水、自动进样器电源，正常点火分析。