1、EPMA     

EPMA如长时间不用需关闭整个系统（全关闭模式）：

工作结束后收拾规整样品、标样和各种工具，注意保存数据；标样可放置于仪器样品仓内部。试样若稳定性不够，需取出；

计算机Observer窗口中，关闭Emission电流和高压后在System菜单中选择Shutdown，待窗口显示Main switch can be turned OFF后（约15分钟）可关闭主机电源；

计算机Analysis窗口中，选择关闭软件及计算机；

关闭附属设备，包括PR气和循环冷却水（在主机关闭20-30分钟以后操作）；

关闭主电源。

关闭后再一次检查一遍予以确认。

以上针对EPMA-1720系列，EPMA-1600系列和EPMA-8050G可参看操作手册。

2、XPS                     

针对假期期间可以正常供电的用户：（强烈建议保持待机状态）

实验结束后，请将已测试样品传输至预抽室；

确保预抽室与主真空室阀门关闭，将样品从预抽室取出；

取出样品后，关闭预抽室腔门，点击Pump，抽真空；

若未配备空压机，需检查气体（普氮），确保余气充足（使防震气垫正常工作）。

针对假期期间可能停电的用户：（全关闭状态）

实验结束后，请将已测试样品传输至预抽室；

确保预抽室与主真空室阀门关闭，将样品从预抽室取出；

取出样品后，关闭预抽室腔门；

关闭高纯氮进气阀，对没有空压机客户保持普氮进气阀开启状态（使防震气垫正常工作）；

关闭仪器背后Protected Mains按钮，关闭X射线源、X射线高压、磁透镜、离子枪、分析器、偏转板控制单元按钮；

关闭离子枪、UPS与主真空连接阀门及三个Backing阀门，关闭真空规及分子泵；

关闭仪器背后真空、Motor及处理器控制单元；

最后关闭仪器空气开关（由左至右）、水冷机、计算机电源。

确认是否关闭电源总开关

3、SPM                    

实验结束后，请抬高探针，如Release10步；

抬高探针后，请关闭SPM online操作软件；

关闭软件后，请关闭SPM控制箱，即SPM CONTROL UNIT；

关闭控制箱后，请关闭光纤灯；

关闭光纤灯后，请关闭主动减震台；

关闭主动减震台后，请关闭变压器（220V-100V）;

关闭变压器后，请关闭气体（如氮气）分压阀及总阀。

确认总电源是否需要关闭。

 以上就是小编帮大家总结的表面分析仪器关机注意事项，拿走不谢！