一、导读
近年来，材料、环境、能源、信息产业及微电子等领域的迅猛发展促使表面科学成为最为活跃的研究科学之一，同时对于表面分析技术的需求也日益增长。X射线光电子能谱（XPS）技术作为一种表面分析技术，在鉴定材料表面的化学性质与组成方面具备独特的优势，已经广泛应用于基础科研、先进材料研制、高精尖技术等领域，促进了材料学的研究与发展。ESCApe软件是岛津XPS的仪器软件，兼具操作分析功能，功能强大，界面美观。为了更方便的将数据导出到Excel，最新版本ESCApe Ver. 1.4 进行了功能升级。今天，我们以案例分享模式，介绍一个镀锡板样品的全谱与窄谱分析数据的导出过程，我们一起来看看吧！
XPS操作方法
1、全谱Peak ID分析
将全谱拖入Data Processing模块，下拉列表选择ESCA Spectrum和Peak ID，之后运行、保存；
2、调节输出的数据格式
全谱保留在Data Processing模块，下拉列表选择ESCA Spectrum和Excel exporter，在Data Organiser中双击打开全谱，调节输出的格式：点击Fitted Model，显示出元素标注；选择Regions，显示出元素含量；（此处调节的格式即最终的保存数据格式，如果不双击打开全谱，直接运行保存，则保存的是不带元素标注的全谱）；
3、导出数据到Excel
选择保存位置、输入名称，选择全谱，点击运行，查看保存结果。
1、窄谱拟合分析
将窄谱拖到Modelling模块进行拟合等数据分析，具体操作可参考 XPS（X射线光电子能谱仪）｜数据处理（二）
2、调节输出的数据格式
将多个窄谱拖入Data Processing模块，下拉列表选择ESCA Spectrum和Excel exporter，在Data Organiser中双击打开其中一个窄谱，调节输出的格式：点击Fitted Model，显示出拟合数据；选择Components，显示出价态含量；（调节其中一个窄谱的数据格式，其他窄谱会默认按照这个格式进行导出，如果不双击打开窄谱，直接运行保存，则保存的是不带拟合数据的窄谱）；
3、导出数据到Excel
选择保存位置、输入名称，选择全部窄谱，点击运行，查看保存结果。
如需查看记录了本次案例的完整操作过程的视频，可关注岛津公众号进行查看，查看地址：https://mp.weixin.qq.com/s/OE1hSAh6o-erVk9ayGs32Q